“你看咱們身邊這一排排3米高的大白箱子，就是‘TDS碳化硅單晶生長設(shè)備’，別看它表面很平靜，里面2300℃以上的高溫中，正在進(jìn)行著驚人的化學(xué)反應(yīng)——生長形成碳化硅晶錠。”
3月13日，在山西轉(zhuǎn)型綜改示范區(qū)瀟河產(chǎn)業(yè)園區(qū)太原起步區(qū)(北區(qū))的粉料合成及單晶生長車間，與記者一同穿梭于TDS碳化硅單晶生長設(shè)備之間的山西爍科晶體有限公司設(shè)備部經(jīng)理周立平，邊走邊講解碳化硅的復(fù)雜生長過程。
隨著項目投產(chǎn)一批、開工一批、簽約一批的“三個一批”活動近日在山西轉(zhuǎn)型綜改示范區(qū)舉行，我省再次吹響抓項目、促轉(zhuǎn)型的號角。2月28日剛剛投產(chǎn)的山西爍科晶體有限公司中國電科(山西)碳化硅材料產(chǎn)業(yè)基地項目(一期)就是這次“三個一批”中開工投產(chǎn)項目之一。
碳化硅是全球最先進(jìn)的第三代半導(dǎo)體材料，具有耐高壓、高頻、大功率等優(yōu)良的物理特性，是衛(wèi)星通信、高壓輸變電、軌道交通、電動汽車、通信基站等重要領(lǐng)域的核心材料，尤其是在航天、軍工、核能等極端環(huán)境應(yīng)用領(lǐng)域里有著不可替代的優(yōu)勢。
“打個比方，5G之所以傳輸速度快，正因為它擁有一顆足夠強大的5G芯片心臟，碳化硅晶片就是5G芯片最理想的襯底?！敝芰⑵脚e例。
據(jù)了解，碳化硅單晶的制備一直是全球性難題，而高穩(wěn)定性的晶體生長工藝則是其中最核心的技術(shù)。此前，這項技術(shù)只掌握在美國人手里，近幾年，山西爍科晶體有限公司經(jīng)過反復(fù)鉆研攻關(guān)，最終完全掌握了這項技術(shù)，實現(xiàn)了高純度碳化硅單晶的商業(yè)化量產(chǎn)?！艾F(xiàn)在，除了設(shè)備的研發(fā)和生產(chǎn)是我們自己在做，連碳化硅的生長原料——碳化硅粉末，都是我們自己生產(chǎn)的，不依賴別人，就有更大自主權(quán)?！敝芰⑵阶院赖叵蛴浾呃^續(xù)介紹，“這些原料粉末，在TDS碳化硅單晶生長設(shè)備內(nèi)以PVT升華法，經(jīng)過長達(dá)7至10天的高溫密閉升華，結(jié)晶到籽晶上，最終形成晶錠。這個漫長的過程，就是核心技術(shù)所在?！?/p>
一塊成品碳化硅晶錠，會被切割成20片500微米厚的碳化硅晶片，也就是該公司最終產(chǎn)品成品，平均每片的售價達(dá)1萬元。
“我們碳化硅基地一期共有300臺設(shè)備，單月產(chǎn)值就能突破1億元，項目全部建成后將成為國內(nèi)最大的碳化硅材料供應(yīng)基地，而這個1000畝的產(chǎn)業(yè)園將串聯(lián)起山西轉(zhuǎn)型綜改示范區(qū)上下游十多個產(chǎn)業(yè)，帶動山西半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)集群迅速發(fā)展，實現(xiàn)中國碳化硅的完全自主供應(yīng)?！鄙轿鳡q科晶體有限公司總經(jīng)理李斌信心滿滿地說。
